2013/5/10
随着科技不断发展,对水的要求越来越高。超纯水在现代工业,特别是电子工业中的作用日益显著,纯水处理设备已经是工业,特别是电子工业必备的设备之一。
近十多年来,由于集成电路技术的发展,其集成度越来越高,在数毫米见方的硅片上,相邻电路间隔越来越窄,集成电路元件已由数十个增加到十五万个,甚至到今天已达到六十万个。而水中微粒的允许粒径,应不大于相邻电路间隔的1/5~1/10,否则,就有可能导致电路短路。
此外,水中离子附着在硅片上,产生星点,也会导致集成电路性能的改变。水中允许微粒粒径与集成电路集成度的关系是,集成度越高,允许的微粒粒径就越小。
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