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电子工业对纯水的要求更高

2013/5/11

　　随着大规摸集成电路的研制.集成电路生产对水的提出更为严格的要求。

　　美国国际商业机器公司(IBM)等五家公司曾在1968年提出过电子工业用纯水的水质要求，以后美国于1981年又提出更为严格的纯水水质指标要求。1983年日本为适应大规模集成电路全产的需要，对纯水水质指标，进一步提出了更加严格的要求。

　　检验水的指标，除了水的电阻率以外，更为重要的是数微米以下是微粒与微生物。里由于微生物在设备系统中容易繁殖，实际上成为超纯水中、难以处理的杂质，对工业产品的影响更大。