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蒸馏水与去离子水怎样区别?
从自来水到去离子水一般要经过几步处理：
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质；
2、再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子；
3、然后加压通过反渗透膜；
4、一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物。
假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换和反渗透过程。而蒸馏水只是先气化再冷凝，纯度一般不如去离子水。实际半导体工业中用的大多数是去离子水
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